然而，在工业环境下几乎不可能完全防止灰尘与悬浮粒对三坐标测量仪的影响。由于尘土与污物是随时间积累的，因此对三坐标测量机的气浮轴承和滚动轴承、导轨等部件需要经常清理。

　　三坐标测量机的说明书上写明，根据环境条件应隔多长时间、用什么方法、由谁(用户还是服务部门)来清理三坐标的部件，三坐标测量机的用户有责任遵守这些规程。

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