尼康三坐标测量仪误差检测方法可以分成两大类：一类是用激光干涉仪等仪器检测尼康三坐标测量仪的各个单项原始误差;另一类是用球列、球板等实物基准检测检测尼康三坐标测量仪的综合误差，然后分解出原始误差。

　　在分解各项原始误差时，一项重要基础是尼康三坐标本身有很好的重复性。球列、球板等实物基准需通过激光干涉仪进行检定，对球板本身的稳定性有较高要求。在由综合误差分解为单项误差时，难免有交叉影响，分解得到的原始误差的不确定度比用激光干涉仪等直接测量要大。再则，一般步距或球间距不易做得很小，不像激光干涉仪可对尼康三坐标测量仪的各项误差进行连续检测。